Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis und grosser Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA Verfahren)
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Personal Name(s): | Becker, E. W., (Mitarb.) |
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Imprint: |
1985.
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Physical Description: |
33 S. |
Note: |
deutsch |
Classification: |
ZB | |
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