Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis und grosser Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA Verfahren)
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| Personal Name(s): | Becker, E. W., (Mitarb.) |
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| Imprint: |
1985.
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| Physical Description: |
33 S. |
| Note: |
deutsch |
| Classification: |
| ZB | |
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Open Stacks (Cellar)  Call Number: KFK-3995 Barcode: 6133171732
Available
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