Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis und grosser Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA Verfahren)

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Becker, E. W., (Mitarb.)
1985.
33 S.
deutsch

ZB
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