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Becker, E. W. (1985). Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis und grosser Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA Verfahren).

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Becker, E. W. Herstellung Von Mikrostrukturen Mit Grossem Aspektverhältnis Und Grosser Strukturhöhe Durch Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung Und Kunststoffabformung (LIGA Verfahren). 1985.

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Becker, E. W. Herstellung Von Mikrostrukturen Mit Grossem Aspektverhältnis Und Grosser Strukturhöhe Durch Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung Und Kunststoffabformung (LIGA Verfahren). 1985.

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