Elektronenstrahlpersonalisierbare Konfigurierungselemente.

Saved in:
Brock, R.
Theus, U.
Eggenstein, 1985.
55 S.
deutsch
electron beam lithography : transistor : integrated circuit

ZB
Open Stacks (Cellar) Call Number: BMFT-FB-T-85-163 Barcode: 6133172115 Available