Präparation und Charakterisierung von gesputterten A-Si:F-Schichten / von Alvaro Marino Camargo
Saved in:
| Personal Name(s): | Camargo, Alvaro Marino, ( Verfasser) |
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| Imprint: |
Jülich :
Kernforschungsanlage, Zentralbibliothek ,
1987
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| Physical Description: |
90 Seiten, Anhang |
| Note: |
deutsch |
| Series Title: |
Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ;
2117 |
| Dissertation Note: |
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
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| Keywords: |
sputter deposition : silicon fluoride,amorphous |
| Subject (ZB): | |
| Classification: |
| ZB | |
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Open Stacks (Cellar)  Call Number: JUEL-2117 Barcode: 6133173404
Available
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