Präparation und Charakterisierung von gesputterten A-Si:F-Schichten / von Alvaro Marino Camargo

Saved in:
Camargo, Alvaro Marino, ( Verfasser)
Jülich : Kernforschungsanlage, Zentralbibliothek , 1987
90 Seiten, Anhang
deutsch
Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ; 2117
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
sputter deposition : silicon fluoride,amorphous

ZB
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