Laserkristallisierung von polykristallinen Siliziumschichten auf isolierendem Substrat.
Saved in:
Personal Name(s): | Ryssel, H., (Mitarb.) |
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Imprint: |
1986.
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Physical Description: |
97 S. |
Note: |
deutsch |
Keywords: |
laser processing : si,amorphous |
Classification: |
ZB | |
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