Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis durch Präzisionszerspanung mit Formdiamanten.
Fabrication of microstructures with high aspect ratios by precision cutting using profile dressing diamonds
Saved in:
| Personal Name(s): | Bier, W. |
|---|---|
| Schubert, K. | |
| Imprint: |
Karlsruhe :
Kernforschungszentrum Karlsruhe,
1988.
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| Physical Description: |
11 S. |
| Note: |
deutsch |
| Subject (ZB): | |
| Classification: |
| ZB | |
|---|---|
Open Stacks (Cellar)  Call Number: KFK-4363 Barcode: 6133000627
Available
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