Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis durch Präzisionszerspanung mit Formdiamanten.

Fabrication of microstructures with high aspect ratios by precision cutting using profile dressing diamonds

Saved in:
Bier, W.
Schubert, K.
Karlsruhe : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1988.
11 S.
deutsch

ZB
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