Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung.
origin of defects and accuracy of structure reproduction in deep- etch x-ray lithography using synchrotron radiation.
Saved in:
| Personal Name(s): | Mohr, J. |
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| Ehrfeld, W. / Muenchmeyer, D. | |
| Imprint: |
Karlsruhe :
Kernforschungszentrum Karlsruhe,
1988.
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| Physical Description: |
96 S. |
| Note: |
deutsch |
| Classification: |
| ZB | |
|---|---|
Open Stacks (Cellar)  Call Number: KFK-4414 Barcode: 6133202072
Available
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