Untersuchungen zur Herstellung von Mikrostrukturen grosser Strukturhöhe durch Galvanoformung in Nickelsulfamatelektrolyten.

fabrication of microdevices with high structure ratio by electroforming on nickel sulphamate electrolytes.

Saved in:
Harsch, S.
Ehrfeld, W. / Maner, A.
Karlsruhe : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1988.
91 S.
deutsch

ZB
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