Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-SI :H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter / von Xin Jiang
study of mechanical properties of amorphous hydrogenated carbon and silicon layers by brillouin scattering and nanoindenter
Saved in:
| Personal Name(s): | Jiang, Xin, ( Verfasser) |
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| Imprint: |
Jülich :
Forschungszentrum, Zentralbibliothek,
1990
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| Physical Description: |
92 Seiten, Anhang |
| Note: |
deutsch |
| Series Title: |
Berichte des Forschungszentrums Jülich
2397 |
| Dissertation Note: |
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
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| Keywords: |
diamondlike carbon film |
| Subject (ZB): | |
| Classification: |
Call Number: JUEL-2397 Barcode: 6133207486
