Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-SI :H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter / von Xin Jiang

study of mechanical properties of amorphous hydrogenated carbon and silicon layers by brillouin scattering and nanoindenter

Saved in:
Jiang, Xin, ( Verfasser)
Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 1990
92 Seiten, Anhang
deutsch
Berichte des Forschungszentrums Jülich 2397
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
diamondlike carbon film

ZB
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PTJ
Institute Call Number: JUEL-2397 Barcode: 6133207926 Available