Systemtechnische Analyse und Entwicklung eines Mikroventils in LIGA- Technik.

development of a microvalve by microfabrication

Saved in:
Kowanz, B.
Ehrfeld, W.
Karlsruhe : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1991.
90 S.
deutsch

ZB
Open Stacks (Cellar) Call Number: KFK-4886 Barcode: 6133208446 Available