Allotaxie: ein neues Verfahren zur Herstellung von Eisendisilizid- und Siliziumdioxid-Heterostrukturen in Silizium / Ottmar Skeide

Allotaxy: a novel process for fabrication of iron disilicide and silicon dioxide heterostructures in silicon

Saved in:
Skeide, Ottmar, ( Verfasser)
Book
Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 1994
101 Seiten
deutsch
Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 2869
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