Allotaxie: ein neues Verfahren zur Herstellung von Eisendisilizid- und Siliziumdioxid-Heterostrukturen in Silizium / Ottmar Skeide

Allotaxy: a novel process for fabrication of iron disilicide and silicon dioxide heterostructures in silicon

Saved in:
Skeide, Ottmar, ( Verfasser)
Book
Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 1994
101 Seiten
deutsch
Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 2869
Zugleich: Dissertation, Universität Köln

ZB
Open Stacks (Cellar) Call Number: JUEL-2869 Barcode: 6133211969 Available