Kienel, G. (1993). Vakuumbeschichtung Vol 0004: Anwendungen Vol 0001: Vergleich der verwendeten Verfahren, elektrische Widerstandsschichten, supraleitende Schichten, dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik, Solarzellen. Düsseldorf: VDI Verl..
Chicago Style CitationKienel, G. Vakuumbeschichtung Vol 0004: Anwendungen Vol 0001: Vergleich Der Verwendeten Verfahren, Elektrische Widerstandsschichten, Supraleitende Schichten, Dünne Schichten Für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik, Solarzellen. Düsseldorf: VDI Verl., 1993.
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