Vakuumbeschichtung Vol 0004: Anwendungen Vol 0001: Vergleich der verwendeten Verfahren, elektrische Widerstandsschichten, supraleitende Schichten, dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik, Solarzellen.
vacuum deposition - applications
Saved in:
Personal Name(s): | Kienel, G., editor |
---|---|
Imprint: |
Düsseldorf :
VDI Verl.,
1993.
|
Physical Description: |
XI, 383 S. |
Note: |
deutsch |
ISBN: |
9783184013141 3184013146 |
Series Title: |
/* Depending on the record driver, $field may either be an array with
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Vakuumbeschichtung ;
Vol 0004. |
Keywords: |
micromechanics |
Subject (ZB): | |
Classification: | |
Shelf Classification: |
LEADER | 01293cam a2200349 n 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 144726 | ||
005 | 19970806000000.0 | ||
008 | r1993 | ||
020 | |a 3184013146 | ||
035 | |a (Sirsi) a128612 | ||
084 | 0 | |a FGK - Thin film technology, epitaxy |2 ZB | |
084 | 1 | |a FGK - Dünnfilmtechnologie, Epitaxie |2 LS | |
245 | 0 | 0 | |a Vakuumbeschichtung Vol 0004: Anwendungen Vol 0001: Vergleich der verwendeten Verfahren, elektrische Widerstandsschichten, supraleitende Schichten, dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik, Solarzellen. |
260 | |a Düsseldorf : |b VDI Verl., |c 1993. | ||
300 | |a XI, 383 S. | ||
490 | 0 | |a Vakuumbeschichtung ; |v Vol 0004. | |
500 | |a deutsch | ||
520 | |a vacuum deposition - applications | ||
596 | |a 1 | ||
650 | 4 | |a thin film technology | |
650 | 4 | |a superconducting film | |
650 | 4 | |a optics | |
650 | 4 | |a optoelectronics | |
650 | 4 | |a sensor (technical and physical) | |
650 | 4 | |a solar cell | |
650 | 4 | |a microelectronics | |
653 | |a micromechanics | ||
700 | 1 | |a Kienel, G., |e Hrsg. | |
900 | |a B 076652'01'-004 | ||
900 | |a FGK 114-04 | ||
908 | |a Monographie, Sammelwerk | ||
949 | |a FGK 114-04 |w LC |c 1 |i 1096101500 |d 26/8/2016 |e 23/8/2016 |l STACKS |m ZB |n 15 |r Y |s Y |t ZBB |u 25/3/2009 |x ZB-F |1 PRINT |