In-situ TEM-Untersuchungen des durch thermische Spannungen und Elektromigration induzierten Materietransports in Al-Leiterbahnen [E-Book] / Dirk Heinen
Heinen, Dirk, ( Verfasser)
Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 1997
1 Online-Ressource (VIII, 109 Seiten)
deutsch
Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3435
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1997
Full Text
JuSER
in-situ TEM investigation of stress and electromigration- induced transport in Al-interconnects