Allotaxie: ein neues Verfahren zur Herstellung von Eisendisilizid- und Siliziumdioxid-Heterostrukturen in Silizium [E-Book] / Ottmar Skeide
Skeide, Ottmar, ( Verfasser)
Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 1994
1 Online-Ressource (101 Seiten)
deutsch
Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 2869
Zugleich: Dissertation, Universität Köln
Full Text
JuSER
(buried layers of fesi2 and sio2 in silicon)
Allotaxy: a novel process for fabrication of iron disilicide and silicon dioxide heterostructures in silicon