Herstellung und Wachstum einkristalliner Si/CoSi2/Si-Heterostrukturen nach Hochdosis-Ionenimplantation [E-Book] / von Karl Kohlhof
Kohlhof, Karl, ( Verfasser)
Jülich : Kernforschungsanlage, Zentralbibliothek, 1989
1 Online-Ressource ([4], 88 Seiten)
abstract in English
deutsch
Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ; 2299
Zugleich: Dissertation, Universität Köln
Full Text
JuSER
preparation and growth of monocrystalline silicon/cosi2/silicon heterostructures after high dose ion implantation