Präparation und Charakterisierung von gesputterten A-Si:F-Schichten [E-Book] / von Alvaro Marino Camarago
Camargo, Alvaro Marino, ( Verfasser)
Jülich : Kernforschungsanlage, Zentralbibliothek , 1987
1 Online-Ressource (90 Seiten, Anhang)
deutsch
Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ; 2117
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
sputter deposition : silicon fluoride,amorphous
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JuSER
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