Physical sputtering of elemental metals and semiconductors [E-Book] / by Wolfgang O. Hofer
Hofer, Wolfgang Otto, ( Verfasser)
Jülich : Kernforschungsanlage, Zentralbibliothek, 1985
1 Online-Ressource (24 Seiten)
englisch
Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ; 2028
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JuSER
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