Poröses Silicium für die Mikrooptik : Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen [E-Book] / Michael Götz Berger
Berger, Michael Götz, ( Verfasser)
Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 1996
1 Online-Ressource (X, 167 Seiten)
deutsch
Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3219
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
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JuSER
porous silicon for the microoptics: production, characterization, microstructure and optical properties of single layers and layer systems