%0 Book %0 [E-Book] / %A Berger, Michael Götz %E Berger, Michael Götz %I Forschungszentrum, Zentralbibliothek %D 1996 %C Jülich %G deutsch %B Berichte des Forschungszentrums Jülich ; %T Poröses Silicium für die Mikrooptik : Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen [E-Book] %U https://juser.fz-juelich.de/record/860763/files/J%C3%BCl_3219_Berger.pdf %U http://hdl.handle.net/2128/21633 %X porous silicon for the microoptics: production, characterization, microstructure and optical properties of single layers and layer systems