Metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten : Herstellung und Charakterisierung [E-Book] / Jochen Puchalla
Puchalla, Jochen, (Verfasser)
Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 2007
1 Online-Ressource (164 Seiten)
deutsch
9783893364923
Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe Informationstechnik / information technology ; 17
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2007
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Juser
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