Auswirkungen des Abbremsvorganges von Ionen in dünnen Schichten untersucht mittels KARMA am Beispiel der Hochdosisionenimplantation, der Dosisabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute und der Verbreiterung von Grenzschichten : KARMA: kombinierte Auger-Röntgen-Mikroanalyse [E-Book] / von H. W. Etzkorn
Saved in:
Full text JuSER |
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Personal Name(s): | Etzkorn, H. W., author |
Imprint: |
Jülich :
Kernforschungsanlage, Zentralbibliothek,
1980
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Physical Description: |
1 Online-Ressource (IV, III, 134 Seiten) |
Note: |
deutsch |
Series Title: |
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Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ;
1698 |
Dissertation Note: |
Zugleich: Dissertation, Universität Bonn
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Keywords: |
ion channeling : semiconducting film : x ray microanalysis : auger electron spectroscopy ion implantation : semiconducting film : x ray microanalysis : auger electron spectroscopy sputtering : x ray microanalysis : auger electron spectroscopy |
Classification: |
Description not available. |