Auswirkungen des Abbremsvorganges von Ionen in dünnen Schichten untersucht mittels KARMA am Beispiel der Hochdosisionenimplantation, der Dosisabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute und der Verbreiterung von Grenzschichten : KARMA: kombinierte Auger-Röntgen-Mikroanalyse [E-Book] / von H. W. Etzkorn
Etzkorn, H. W., ( Verfasser)
Jülich : Kernforschungsanlage, Zentralbibliothek, 1980
1 Online-Ressource (IV, III, 134 Seiten)
deutsch
Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ; 1698
Zugleich: Dissertation, Universität Bonn
ion channeling : semiconducting film : x ray microanalysis : auger electron spectroscopy
ion implantation : semiconducting film : x ray microanalysis : auger electron spectroscopy
sputtering : x ray microanalysis : auger electron spectroscopy
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JuSER
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