Selbstassemblierte Nanostrukturierung ultradünner Silizidschichten und Entwicklung von Nano-MOSFET-Bauelementen / Patrick Kluth

self-assembly nanopattering of ultrathin silicide layers and development of Nano MOSFET devices

Saved in:
Kluth, Patrick, ( Verfasser)
Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 2002
182 Seiten
deutsch
Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3994
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2002
Abstract

ZB
Open Stacks (Cellar) Call Number: JUEL-3994 Barcode: 6133217074 Available