Fotolithografie: Grundlagen der Mikrostrukturierung / Autoren: Christian Koch ; Titus J. Rinke
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Table of Contents |
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Personal Name(s): | Koch, Christian, author |
Rinke, Titus J., author | |
Imprint: |
Ulm :
MicroChemicals,
2017
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Physical Description: |
205 Seiten |
Note: |
deutsch |
ISBN: |
9783981878202 |
Subject (ZB): | |
Classification: |
IEK-5 | |
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Institute Call number: B 101307'01' Barcode: 1218100087 Available |