This title appears in the Scientific Report :
2002
Influence of patterning method on ferroelectric properties of PbZr 0,52 Ti 0,48 O3
Influence of patterning method on ferroelectric properties of PbZr 0,52 Ti 0,48 O3
Saved in:
Personal Name(s): | Rodriguez Contreras, J. |
---|---|
Schubert, J. / Poppe, T. D. / Szot, K. / Kohlstedt, H. / Waser, R. | |
Contributing Institute: |
Elektrokeramische Materialien; IFF-EKM Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Mikrostrukturforschung; IFF-IMF |
Published in: |
Workshop on Oxidic Surfaces 2002 |
Imprint: |
2002
|
Conference: | Halle |
Document Type: |
Talk (non-conference) |
Research Program: |
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik |
Publikationsportal JuSER |
Description not available. |