This title appears in the Scientific Report : 2003 

Physical vapor deposition
Förster, A.
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1
Fundamentals of Nanoelectronics : 34th IFF Spring School 2003 ; Forschungszentrum Jülich
2003
Jülich 2003-03-14
Talk (non-conference)
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
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