This title appears in the Scientific Report :
2003
Physical vapor deposition
Physical vapor deposition
Saved in:
Personal Name(s): | Förster, A. |
---|---|
Contributing Institute: |
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 |
Published in: |
Fundamentals of Nanoelectronics : 34th IFF Spring School 2003 ; Forschungszentrum Jülich |
Imprint: |
2003
|
Conference: | Jülich 2003-03-14 |
Document Type: |
Talk (non-conference) |
Research Program: |
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik |
Publikationsportal JuSER |
Description not available. |