This title appears in the Scientific Report : 2003 

Ein einfaches Verfahren zur Herstellung von verspanntem Silizium
Mantl, S.
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1
Wacker Siltronix
2003
Burghausen 2003-03-21
Talk (non-conference)
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
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