This title appears in the Scientific Report : 2003 

Patterning of 25nm wide Silicon Ridges for vertical Double-Gate MOSFETs
Trellenkamp, S.
Moers, J. / van der Hart, A. / Kordos, P. / Lüth, H.
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, 38 (2003) S. 5
Bad Honnef DPG 2003
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Journal Article
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft (Reihe 06) 38
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