This title appears in the Scientific Report :
2003
Patterning of 25nm wide Silicon Ridges for vertical Double-Gate MOSFETs
Patterning of 25nm wide Silicon Ridges for vertical Double-Gate MOSFETs
Saved in:
Personal Name(s): | Trellenkamp, S. |
---|---|
Moers, J. / van der Hart, A. / Kordos, P. / Lüth, H. | |
Contributing Institute: |
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 |
Published in: | Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, 38 (2003) S. 5 |
Imprint: |
Bad Honnef
DPG
2003
|
Physical Description: |
5 |
Document Type: |
Journal Article |
Research Program: |
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik |
Series Title: |
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft (Reihe 06)
38 |
Publikationsportal JuSER |
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