This title appears in the Scientific Report : 2003 

Forschen im Institut für Schichten und Grenzflächen
Marso, M.
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1
Workshop 'Halbleiterbauelemente' : Université du Luxembourg
2003
Luxembourg 2003-11-10
Conference Presentation
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
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