This title appears in the Scientific Report :
2005
Adjustable hydrogen atom incorporation into sputter deposited a-SiC
Adjustable hydrogen atom incorporation into sputter deposited a-SiC
Saved in:
Personal Name(s): | Tschersich, K. G. |
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Littmark, U. / Beyer, W. | |
Contributing Institute: |
Institut für biologisch-anorganische Grenzflächen; ISG-4 Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Institut für Photovoltaik; IPV |
Published in: |
13th International Congress on Thin Films |
Imprint: |
2005
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Conference: | Stockholm, Sweden 2005-06-19 |
Document Type: |
Conference Presentation |
Research Program: |
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik Kondensierte Materie Photovoltaik |
Publikationsportal JuSER |
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