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Experimente zur Strahlaufweitung [E-Book] /
...FGGB - Ion implantation, ion beam synthesis...

Full text  JuSER 
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Geregelte Strahlaufweitung bei der Ionenimplantation [E-Book] /c von U. Kurz ; W. Reimer ; U. Kammel ; A. van der Hart und J. Schelten