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Handbook of advanced plasma processing techniques /
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...FGK - Dünnfilmtechnologie, Epitaxie...
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Materials science in microelectronics. 2. The effects of structure on properties in thin films /
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Materials science in microelectronics. 1. The relationships between thin film processing and structure /
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Vakuumbeschichtung Vol 0004: Anwendungen Vol 0001: Vergleich der verwendeten Verfahren, elektrische Widerstandsschichten, supraleitende Schichten, dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik, Solarzellen.
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