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Field assisted sintering of yttria ceramics for plasma etching applications /
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Subject (ZB): “...plasma etching...”
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Entwicklung einer niederenergetischen Flüssigmetall-Rasterionensonde für die in-situ Ionenätzung im Transmissionselektronenmikroskop (TEM) /
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Subject (ZB): “...ion etching...”
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Elektroneninterferenzeffekte in modulationsdotierten Al0.3Ga0.7As/GaAs-Heterostrukturen [E-Book] /
Subject (ZB): “...etching...”

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Optische und elektrische Eigenschaften von Schichtsystemen aus porösem Silizium [E-Book] /
Subject (ZB): “...etching...”

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Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik.
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Subject (ZB): “...plasma etching...”
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Supraleitende Schalter aus gestapelten Niob-Mikrobrücken [E-Book] /
Subject (ZB): “...etching...”

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