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Epitaktische Abscheidung von monokristallinem Silizium bei reduziertem Totaldruck.
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Inselwachstum von Übergangsmetallsiliziden auf Siliziumoberflächen [E-Book] /
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Niedertemperatur-Silicium-Epitaxie durch plasmaunterstützte chemische Abscheidung aus der Gasphase /
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Untersuchungen des Wachstums und der Struktur von Siliziden mittels Rastertunnelmikroskopie und Rastertunnelspektroskopie [E-Book] /