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Entwicklung und Aufbau einer neuartigen MOCVD-Anlage zum Wachstum ferroelektrischer Dünnschichten [E-Book] /

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Oberflächeninduzierte Abscheidung von Siliziumdioxid aus der Gasphase /
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Supercritical Si(1-x)Ge(x)alloy layers for optoelectronic applications grown by athmospheric pressure chemical vapor deposition [E-Book] /

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