Research Program
Halbleiterbauelemente und Analytik
28
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
18
Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen
12
Grundlagen für zukünftige Informationstechnologien
3
ohne FE
3
Ionen- und Lithographietechnik
2
Umweltprobenbank
2
Festkörperforschung für die Informationstechnik
1
Grundlagen und Technologie von Dünnschichtsolarzellen
1
Ionentechnik
1