Research Program
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
173
Kondensierte Materie
45
Festkörperforschung für die Informationstechnik
42
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
5
Ionentechnik
3
Methoden und Systeme der Informationstechnik
3
Entwicklung analytischer Verfahren
2
Halbleiterbauelemente und Analytik
1
Ionen- und Lithographietechnik
1
Photovoltaik
1
Werkstoff- und Bauteilentwicklung für fortschrittliche Kraftwerke
1