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1
Goryll, M.
2006
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Moers, J.
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Moers, J.
2006
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4
Moers, J.
2006
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Moers, J.
2006
2006
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, 41 (2006) S. DS18.1
“...Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente...”
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Moers, J.
2005
2005
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Overlay of E-Beam generated patterns for the application in vertical gate all-arround MOSFET devices
Moers, J.
2005
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8
Moers, J.
2005
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9
Kluth, S. M.
2005
2005
Journal of vacuum science & technology / B, 23 (2005) S. 76 - 79
“...Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente...”
10
Moers, J.
2005
2005
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, 40 (2005) S. 279
“...Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente...”
11
Moers, J.
2004
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Moers, J.
2004
2004
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Moers, J.
2004
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Moers, J.
2004
2004
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, 39 (2004) S. 173 HL10
“...Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente...”
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Moers, J.
2004
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Meyburg, S.
2003
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Moers, J.
2003
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18
Moers, J.
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Moers, J.
2003
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20
Okazaki, S.
2003
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