Reaktives Sputtern von Oxidfilmen: Herstellung dielektrischer dünner Schichten für technische Anwendungen / J. Stollenwerk.
reactive sputtering of oxide layers: preparation of dielectric thin films for technical applications
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| Personal Name(s): | Stollenwerk, J. |
|---|---|
| Imprint: |
Aachen :
Verlag der Augustinus Buchhandlung,
1993.
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| Physical Description: |
131 S. |
| Note: |
deutsch |
| ISBN: |
3860730894 9783860730898 |
| Series Title: |
Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie ;
5. |
| Subject (ZB): | |
| Classification: |
| IBN-1-2 | |
|---|---|
Institute  Call Number: S 007410-0005'01' Barcode: 1093102473
Available
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