. (1993). Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen: Verbundprojekt 1989 - 1991: Abschlussbericht. Teltow: VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik.
Chicago Style CitationAktoren Aus Mikrostrukturiertem Silizium Für Pneumatische Und Hydraulische Anwendungen: Verbundprojekt 1989 - 1991: Abschlussbericht. Teltow: VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik, 1993.
MLA CitationAktoren Aus Mikrostrukturiertem Silizium Für Pneumatische Und Hydraulische Anwendungen: Verbundprojekt 1989 - 1991: Abschlussbericht. Teltow: VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik, 1993.
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