Vakuumbeschichtung Vol 0002: Verfahren und Anlagen.

Personal Name(s):	Kienel, G., editor
Imprint:	Düsseldorf : VDI Verl., 1995.
Physical Description:	XIII, 481 S.
Note:	deutsch
ISBN:	9783184013127 318401312X
Series Title:	Vakuumbeschichtung ; Vol 0002.
Keywords:	plasma spraying
Subject (ZB):	vacuum deposition evaporation ion plating sputtering ion beam technology etching
Classification:	FGKF - Chemical vapor deposition FGKC - Vacuum deposition, MBE FGKJ - Plasma processing, etching
Shelf Classification:	FGK - Dünnfilmtechnologie, Epitaxie