Darstellung und Charakterisierung epitaktischer 3C-SiC Schichten auf Si(100) Substraten / Thomas Kunstmann.
Saved in:
Personal Name(s): | Kunstmann, Thomas. |
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Imprint: |
1996.
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Physical Description: |
142 S. |
Note: |
deutsch |
Dissertation Note: |
München, Techn. Univ., Diss., 1996
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Keywords: |
silicon carbide |
Subject (ZB): | |
Classification: |
ZB | |
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Open Stacks Call number: B 079042'01' Barcode: 1097102735 Available |