Simulation der Abscheidung von Silizium- und Silizium-Germanium-Schichten / Matthias Hierlemann.
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Personal Name(s): | Hierlemann, Matthias. |
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Imprint: |
1997.
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Physical Description: |
138 S. |
Note: |
deutsch |
Dissertation Note: |
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1997
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Subject (ZB): | |
Classification: |
ZB | |
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