Niedertemperatur-Silicium-Epitaxie durch plasmaunterstützte chemische Abscheidung aus der Gasphase / Günter Ratz.
plasma assisted low temperature silicon epitaxy
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Personal Name(s): | Ratz, Günter. |
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Imprint: |
1995.
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Physical Description: |
138 S. |
Note: |
deutsch |
Dissertation Note: |
München, Techn. Univ., Diss., 1995
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Subject (ZB): | |
Classification: |
ZB | |
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