Entwicklung und Aufbau einer neuartigen MOCVD-Anlage zum Wachstum ferroelektrischer Dünnschichten [E-Book] / Patrick Ralf Schäfer
Saved in:
Full text JuSER |
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Personal Name(s): | Schäfer, Patrick Ralf, author |
Imprint: |
Jülich :
Forschungszentrum, Zentralbibliothek,
2002
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Physical Description: |
1 Online-Ressource (133 Seiten) |
Note: |
deutsch |
Series Title: |
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Berichte des Forschungszentrums Jülich ;
3956 |
Dissertation Note: |
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2002
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Keywords: |
design and construction of a complete MOCVD system ferroelectric thin film MOCVD - Metal Organic Chemical Vapor Deposition |
Subject (ZB): | |
Classification: |
Description not available. |