Plasmagestützte Abscheidung und Charakterisierung von dünnen mehrphasigen Schichten [E-Book] / Michael Nöthe
Saved in:
Full text |
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Personal Name(s): | Nöthe, Michael, author |
Imprint: |
Jülich :
Forschungszentrum, Zentralbibliothek,
2000
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Physical Description: |
1 Online-Ressource (VI, 143 Seiten) |
Note: |
deutsch |
Series Title: |
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Berichte des Forschungszentrums Jülich ;
3789 |
Dissertation Note: |
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2000
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Keywords: |
plasmabased deposition and characterization of thin multiphase layers |
Subject (ZB): | |
Classification: |
Description not available. |