Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-SI :H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter [E-Book] / von Xin Jiang
Jiang, Xin, ( Verfasser)
Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 1990
1 Online-Ressource (92 Seiten, Anhang)
deutsch
Berichte des Forschungszentrums Jülich 2397
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
diamondlike carbon film
Full Text
JuSER
study of mechanical properties of amorphous hydrogenated carbon and silicon layers by brillouin scattering and nanoindenter